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        成都四洋科技有限公司官方網站

        SQM-220薄膜沉積控制器

        SQM-220薄膜沉積控制器高達6個通道的輸入和兩個額外的真空計通道,加上7英寸TFT顯示使SQM-220更加通用和方便。可以將傳感器的輸入分配給具有不同參數的不同材料,由DSP處理器控制的高速高精度測量過程提高了薄膜的質量和可重復性。具有精度高、穩定性好、儀器配置合理等特點。自動保存功能,保存的參數/單位預置,在重啟后可以自動應用。

        特點

        最多6個通道,用于帶石英天平的厚度監視器傳感器

        7”TFT觸摸面板顯示

        直觀的多語言界面

        二維實時圖表模塊(可選)

        緊湊的設計

        兩個真空計通道

        多達8個shutters和I/O可重新編程

        繼電器輸出

        用于速率和厚度監控的可編程模擬輸出,具有16位分辨率

        通訊接口:RS232/485,以太網IP

        行業標準6MHz晶體

        頻率分辨率:0.1 Hz(適用于220-010)或0.01 Hz(適用于222-010)

        快速的SE和LabVIEW庫

        最多可操作兩個多晶傳感器頭(氣動或步進電機)

        19“機架裝配或獨立

        一鍵式材料更改

        常用材料的收藏夾列表

        保存個人用戶配置文件

        內置視頻教程

        應用

        用于精確速率測量的可用軟件。記錄石英晶體振蕩器的頻率在時間上的變化(以圖形的形式)。允許用戶從選定的時間間隔計算蒸發速率。適用于如MBE應用

        技術規格

        傳感器輸入通道

        6

        膜厚

        0 - 9999000 ?

        速率

        0 - 9999 ?/s

        兼容的傳感器
        (兩個通道)

        CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PTR90, ITR90, ITR100, Baratron, ANALOG IN, MKS937A, PG105, MG13/14, PKR251/360/361, PCR280, ATMION等

        頻率分辨

        0.1 Hz (220-010) ;0.01 Hz (222-010)

        頻率范圍

        2-6MHz

        膜厚分辨

        220-010: 0.1 ? ;222-010: 0.01 ?

        速率分辨

        220-010: 0.1 ?/s ;222-010: 0.01 ?/s

        頻率穩定性

        0.5ppm

        Tooling factor

        1 – 400%

        測量單位

        ?,K?,nm

        測量類型

        100ms至2s(取決于220-010/222-010)

        Shutter控制

        手動,時間,膜厚

        Shutter時間

        1 - 1000000 s

        真空計輸入通道

        2

        壓力單位

        mbar, Pa, Torr, Psia

        除氣時間

        1-3分鐘

        輸出

        8個繼電器輸出(2個輸出有COM NC和NO觸點)

        2個模擬輸出: 0-10V(厚度、速率、壓力)

        輸入

        4個數字輸入(24V邏輯)

        通訊接口

        RS232/485,Ethernet

        用戶界面

        7寸TFT觸摸屏

        語言

        英語,德語

        通訊協議

        MODBUS-TCP

        尺寸

        212.6 x 128.4 x 260.9 mm

        重量

        3Kg

        電源要求

        100-240VAC, 50/60Hz, Max 100W

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